Технология интегральных микросхем

Виталий Иванович Смирнов

Жанр: учебники и пособия для вузов физика электроника технологические процессы наноэлектроника микроэлектроника техническая физика микросхемы

Язык: Русский

Тип: Текст

Год издания: 2023

Полная версия

Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 «Конструирование и технология электронных средств», профиль «Конструирование и технология электронных средств».